金屬中心與荷蘭TNO締約，提昇國內半導體設備產業技術

記者黃天辰報導/經濟部工業局為協助國內半導體設備產業更加茁壯，委由財團法人金屬工業研究發展中心執行「半導體設備暨零組件產業發展計畫」，旨在促進國內半導體設備產業技術的提昇，在荷蘭貿易暨投資辦事處及工業局人員的見証下，9/3由金屬中心執行長伏和中及荷蘭最大國家科學研究機構TNO半導體發展處處長Roland Van Vliet締結合作協議。

貴為荷蘭最大科學研究機構，TNO 75%以上的營收來自對企業售出的研發成果，其研發領域包括健康醫療、產業創新、高科技系統及材料、海上及離岸設備、化學、防禦安全、行動通訊、居住環境規劃、資訊網絡、在半導體方面，更擁有真空腔體超高潔淨(ultra clean vacuum)加工技術及半導前段設備的原型機關鍵開發技術。並曾協助ASML、PHILPS、SAMSUNG、ZEISS、APPLIED MATERIAL等國際大廠進行產品開發。

TNO除了擁有許多領先全球的研究產能，對內與荷蘭產業互相結合的獨特supply chain運作方式頗具特色；金屬中心執行長伏和中指出，由TNO提供初步研發構想，與合作廠商共同研究開發，集思廣益，這種結合研究單位及產業共同實體化的作法，縮短產品開發時間並提昇量產的可行性，非常值得國內廠商做為參考。此外，TNO近期可望與其supply chain廠商組成Tapinto聯盟，匯集各聯盟廠商優點，可以尋求更多國際合作的機會。

    金屬中心執行長伏和中於會中表示，未來金屬中心及TNO將共同針對半導體前段設備及超高潔淨真空技術開發研議合作，逐漸拓展雙方合作範疇至其他相關領域，透過雙方的緊密合作，提昇國內半導體及光電設備的技術及自製能力。